在2021年的缺芯✿ღ、涨价影响下✿ღ,国内外半导体大厂纷纷大幅增加资本开支✿ღ,建厂扩产✿ღ。在轰轰烈烈的建厂潮下✿ღ,中国大陆逐渐于2021年第二季度成长为全球第一大半导体制造设备市场✿ღ。
一方面✿ღ,国内半导体制造设备市场逐渐成长✿ღ;另一方面✿ღ,国内芯片制程厂商也开始逐渐使用国产设备✿ღ。北方华创(002371✿ღ,SZ)✿ღ,正是国内产品种类最丰富的半导体设备厂商✿ღ。截至12月22日✿ღ,北方华创的股价在2021年内涨幅接近90%✿ღ。
受2021年以来持续的“缺芯”影响✿ღ,各大半导体厂商大幅建厂扩产✿ღ。特别是台积电宣称未来3年内将投入1000亿美元增加产能✿ღ。除台积电外✿ღ,三星✿ღ、英特尔✿ღ、格芯✿ღ、中芯国际等半导体制造企业均有大规模投资建厂的计划✿ღ。
中国大陆市场半导体设备需求尤为火热✿ღ,根据9月7日SEMI发布的《全球半导体设备市场报告》✿ღ,2021年第二季度全球半导体设备出货金额达249亿美元✿ღ,创历史新高性爱博客✿ღ,同比增长48%✿ღ。中国大陆✿ღ、韩国✿ღ、中国台湾地区位列前三✿ღ:中国大陆第二季度半导体设备出货82.2亿美元✿ღ,同比增长79%✿ღ;韩国第二季度半导体设备出货额为66.2亿美元✿ღ,同比增长48%✿ღ;中国台湾地区第二季度半导体设备出货50.4亿美元✿ღ,同比增长44%性爱博客✿ღ。
目前全球半导体设备市场主要由美国✿ღ、日本✿ღ、荷兰厂商控制✿ღ。国内厂商方面✿ღ,主要以北方华创✿ღ、中微公司✿ღ、盛美上海为主✿ღ。晶圆制造过程主要包括7个相互独立的工艺流程✿ღ:光刻✿ღ、刻蚀✿ღ、薄膜沉积✿ღ、扩散✿ღ、离子注入✿ღ、化学机械抛光✿ღ、金属化贝博体育✿ღ。其中✿ღ,光刻✿ღ、刻蚀✿ღ、薄膜沉积为设备价值最高的三个流程✿ღ,价值占比之和超过50%✿ღ。另外✿ღ,随着工艺复杂度的提高✿ღ,清洗设备的重要性也在逐渐提高✿ღ。
相比中微公司侧重刻蚀✿ღ,盛美上海侧重清洗✿ღ,北方华创的产品则覆盖刻蚀✿ღ、薄膜沉积和清洗性爱博客✿ღ。北方华创在2020年年报中表示✿ღ:“公司集成电路先进制程多种产品通过客户验证✿ღ,成熟制程设备工艺覆盖率快速提升✿ღ。刻蚀机✿ღ、PVD✿ღ、立式炉✿ღ、清洗机等产品在集成电路性爱博客✿ღ、先进封装主流客户实现规模销售✿ღ。”
国产厂商已经在刻蚀设备✿ღ、清洗设备✿ღ、薄膜沉积设备中占据部分市场份额✿ღ。以长江存储2021年9月至11月上旬数据为例✿ღ,其刻蚀设备主要采购自北方华创✿ღ,共计2台✿ღ,另有4台薄膜沉积设备采购自北方华创✿ღ。
此案例中✿ღ,长江存储采购自北方华创各项设备的量并非最多贝博体育✿ღ,但产品种类确实最广✿ღ,包括薄膜沉积设备✿ღ、退火设备✿ღ、刻蚀设备贝博体育✿ღ、氧化设备和炉管设备✿ღ,各类产品数量合计10多台✿ღ。
根据东吴证券数据✿ღ,截至2020年12月✿ღ,半导体设备中✿ღ,刻蚀设备✿ღ、薄膜沉积设备✿ღ、量检测设备✿ღ、清洗设备✿ღ、离子注入设备✿ღ、CMP设备✿ღ、涂胶显影设备的国产设备率分别为7%✿ღ、8%✿ღ、2%✿ღ、20%✿ღ、2%✿ღ、10%✿ღ、7%✿ღ,而光刻设备的国产设备率仍是0%✿ღ。
可以看出✿ღ,薄膜沉积设备方面✿ღ,北方华创中标的PVD(物理气相沉积)✿ღ、CVD(化学气相沉积)✿ღ、ALD(原子层沉积)设备分别为14台✿ღ、5台和1台贝博体育✿ღ,共计20台✿ღ;中微公司中标的MOCVD(金属有机化合物化学气相沉积)设备为1台✿ღ;沈阳拓荆中标的CVD为24台✿ღ。也就是说✿ღ,在上述时间段中✿ღ,北方华创在薄膜沉积设备销量方面仅次于沈阳拓荆✿ღ,在国产厂商中排名第二✿ღ。
清洗设备方面✿ღ,北方华创中标的湿法清洗设备为13台✿ღ。而芯源微✿ღ、盛美上海✿ღ、屹唐半导体中标的湿法清洗设备分别为8台✿ღ、14台和2台✿ღ。即北方华创在上述时间段中✿ღ,于国产清洗设备厂商中销量排名第二✿ღ,仅次于盛美上海✿ღ。
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